Bronkhorst High-Tech BV

Масови дебитомери за газ с метално уплътнение

Масовите разходомери (MFM) модел F-111CM на Bronkhorst®, разработени специално, за да отговорят на изискванията на пазара на полупроводници, както и на други приложения с висока чистота на газа. Уредите се отличават с високо качество на повърхността и са с модулна конструкция с уплътнения метал-метал, които гарантират дългосрочна херметичност. F-111CM е подходящ за прецизно измерване на диапазони на потока между 0,12...6 sccm до 1...50 slm (на база N2) при работно налягане между вакуум и 1500 psig (100 bar).

Сериите EL-FLOW® с метално уплътнение са оборудвани с цифрова печатна платка, която предлага висока точност, отлична температурна стабилност и бърза реакция. Основната цифрова печатна платка съдържа всички общи функции, необходими за измерване и управление. В допълнение към стандартния изход RS232 уредите предлагат и аналогови входове/изходи. Като опция може да се монтира вграден интерфейс, който да осигурява протоколи CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII или TCP/IP, EtherNet/IP или FLOW-BUS. Конструкцията на EL-FLOW® с метално уплътнение се характеризира с опционална функционалност Multi Gas / Multi Range, която осигурява на клиентите (OEM-) оптимална гъвкавост и ефективност на процеса.