Скорост, разделителна способност, 2D или 3D - в зависимост от приложението производителите имат различни приоритети при инспектирането на полупроводникови продукти. Comet Yxlon предлага разнообразни системи за рентгенова и компютърна томография, съобразени с конкретните задачи за инспекция.

2D радиоскопия

• Бързо генериране на изображения, идеално за инспекции в процеса на работа
• Основно приложение: традиционни опаковки
• Инспекция на обикновени проводникови връзки, пролуки и бучки на спойката
• Предлага се с Cheetah и Cougar - най-доброто изображение за най-кратко време с подмикрометрова разделителна способност

Компютърна ламинография (CL)

• Определяне на пространствените свойства на компонентите, както и на позицията и размера на дефектите
• Основно приложение: Усъвършенствани опаковки
• Проверка на проби на многослойни опаковки и интегрирани устройства
• Предлага се за системите Cheetah и Cougar с вертикален път на лъча и най-висока разделителна способност, както и за системите FF20 CT и FF35 CT с хоризонтален път на лъча

3D компютърна томография (CT)

• триизмерни измервания за определяне на пространствените свойства, позицията и размерите на дефектите
• Основно приложение: подробен анализ на дефекти
• Предлага се със системите FF20 CT и FF35 CT с интуитивна работа благодарение на потребителския интерфейс Geminy и като допълнение към Cheetah и Cougar
• CT метрология